ABT-1000气浮主轴，10万转半导体晶圆研磨工具

　　ABT-1000气浮主轴是一款由日本Nakanishi（中西）公司生产的精密气动主轴。

       以下是关于ABT-1000气浮主轴的详细介绍：

　　一、主要特点

　　高速运转：ABT-1000气浮主轴的转速高达100,000转/分钟，能够快速完成加工任务，显著提高生产效率。

　　高精度加工：主轴跳动精度在1μm以内，确保了加工工件的精度和表面光洁度，满足高精度加工需求。

　　长寿命：采用空气轴承技术，避免了传统机械轴承因摩擦而产生的磨损和失效，从而延长了主轴的使用寿命。

　　低噪音：空气轴承的非接触式结构减少了机械摩擦和振动，降低了加工过程中的噪音，提供舒适的加工环境。

　　环保节能：空气轴承主轴的润滑介质为空气，无需使用润滑油，减少了环境污染和能源消耗。

　　二、应用领域

　　半导体制造：在半导体晶圆的研磨、切割等工艺中，ABT-1000气浮主轴能够提供稳定、精确的切削性能，确保晶圆的精度和表面光洁度。

　　精密机械加工：可用于高光、铣削、钻孔等多种精密机械加工任务，提高加工精度和生产效率。

　　模具制造：在模具的精密加工中，ABT-1000气浮主轴同样能够提供稳定、精确的切削性能，确保模具的精度和寿命。

　　三、产品参数

　　类型：气动主轴

　　外径：Φ40mm

　　最高转速：100,000转/分钟

　　主轴跳动精度：1μm以内

　　输出功率：88W

　　夹头：CHA组（可夹持刀具柄径范围为φ0.5~φ4.0mm）

　　重量：约820g

　　轴承气压：0.55MPa

　　四、使用注意事项

　　供气要求：空气轴承主轴需要清洁干燥的空气。在供气时，需确保气压稳定且空气干燥无杂质。

       同时，应始终向空气轴承供气，即使在主轴停止时也需保持供气状态。

　　操作规范：在使用ABT-1000气浮主轴时，需遵循操作规范，避免主轴和轴承在无供气状态下旋转或更换工具/夹头。

      以防止损坏接触区域并妨碍其正常工作。